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如何有效的降低真空系統漏氣率?

發布日期:2019-03-30 作者:admin 點擊:

真空系統的結構:


真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵齐发国际登录,真空系統的結構合理與否,將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率齐发国际登录。

1齐发国际登录齐发国际登录、盡可能地避免出現小曲率半徑的死角齐发国际登录,要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃齐发国际登录。

2齐发国际登录、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻齐发国际登录,但要考慮清洗清掃的方便性。

3、認真設計真空室內各種連接件的結構,使氣路暢通,避免氣路堵塞齐发国际登录。

4、打磨拋光真空系統內表面,表面越光亮就越不易氣體吸附齐发国际登录,越容易獲得真空。

5、盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統齐发国际登录。

真空系統

密封形式的選擇:

密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式,對于人工晶體生長設備,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此齐发国际登录,無需采用金屬密封齐发国际登录。以TDR--70型單晶爐為例,我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封,小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封齐发国际登录,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。


密封件材質的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統,密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是,考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度可達2300oC齐发国际登录,密封部位進行水冷后,其溫度在80oC左右齐发国际登录,個別處溫度可達100oC以上)齐发国际登录。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。


用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面齐发国际登录齐发国际登录、無劃傷、無裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性齐发国际登录,同時要有一定的強度、硬度和彈性等齐发国际登录。


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相關標簽:真空系統,真空泵,真空機組

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